案例一：新松某半導(dǎo)體企業(yè)復(fù)合移動機器人項目

（1）項目描述

某半導(dǎo)體企業(yè)從2015年開始陸續(xù)應(yīng)用了沈陽新松機器人自動化股份有限公司的復(fù)合移動機器人，復(fù)合移動機器人分別應(yīng)用于工廠的加工和物流區(qū)域，主要用于半導(dǎo)體材料的搬運，通過機器手臂將物料自動抓取到各加工設(shè)備中，來實現(xiàn)物料的自動轉(zhuǎn)運。移動機器人本體及協(xié)作手臂均由新松機器人公司提供。

圖：新松復(fù)合移動機器人

（2）難點及創(chuàng)新點

1、采用激光slam導(dǎo)航技術(shù)停車定位精度±10mm；

2、機器臂末端采用3D視覺補償，定位精度±0.5mm ；

3、車間為潔凈環(huán)境，設(shè)備潔凈等級滿足Class 100；

4、自動更換電池技術(shù)，復(fù)合移動機器人可連續(xù)24小時運行，滿足用戶7x24小時不間斷工作；

5、復(fù)合移動機器人運貨量大，機械臂最大負(fù)載20KG，移動機器人最大負(fù)載200KG，綜合性價比高；

6、機械臂自動更換夾爪，可以搬運多種物料；

7、走行速度60m/min無級變速；

8、為了滿足不同物料機械臂臂展加長，同時巷道寬度的限制移動機器人寬度受限，考慮了復(fù)合移動機器人的重心及穩(wěn)定性設(shè)計。

（3）效益或影響

復(fù)合移動機器人推出當(dāng)年，就成功地將其應(yīng)用到某企業(yè)的數(shù)字化智能工廠中，在該行業(yè)內(nèi)起到一定示范作用的同時也積累了復(fù)合移動機器人的應(yīng)用經(jīng)驗。復(fù)合移動機器人是新松公司最早應(yīng)用在半導(dǎo)體行業(yè)的，也推動了這一行業(yè)應(yīng)用復(fù)合移動機器人的認(rèn)可和使用。采用復(fù)合移動機器人搬運方式可大大減少車間人員數(shù)量（減少約80%）、大大減少搬運次數(shù)（調(diào)度系統(tǒng)優(yōu)化最優(yōu)配送方案），提高作業(yè)準(zhǔn)確率200%。尤其在新冠疫情期間，其他企業(yè)面臨人員不能正常到崗情況下，復(fù)合移動機器人卻可在客戶的工廠里24小時穿梭，有效的保證了用戶的生產(chǎn)效率和經(jīng)濟效益。

案例二：優(yōu)艾智合晶圓盒搬運機器人項目

（1）項目描述

某全球領(lǐng)先半導(dǎo)體晶圓廠為解決每日繁重的SMIF POD上下機臺任務(wù)，引入YOUIBOT智能物流解決方案，通過3臺優(yōu)艾智合晶圓盒搬運機器人，搭載YOUIFLEET調(diào)度管理系統(tǒng)和YOUITMS物流管控系統(tǒng)，完成機臺與電子料架之間的自動化上下料和車間物流數(shù)據(jù)全流程精細(xì)化管理，實現(xiàn)晶圓車間柔性化智能化生產(chǎn)。

圖：晶圓盒搬運機器人OW8在半導(dǎo)體車間應(yīng)用

（2）難點及創(chuàng)新點

技術(shù)難點：

1、視覺定位精度要求±1mm。

2、高頻次轉(zhuǎn)運需求對節(jié)拍要求嚴(yán)苛，人工一次只能搬一個晶圓盒，晶圓盒搬運機器人一次最多可搬運8個晶圓盒。

3、震動容易對晶圓產(chǎn)生裂紋，晶圓搬運過程對震動要求極其嚴(yán)格，晶圓盒搬運機器人在作業(yè)時穩(wěn)定運輸狀態(tài)振動均值遠(yuǎn)小于 0.1G。

創(chuàng)新點：

1、市面普遍機器人最多設(shè)有4儲位，部分工藝晶圓流轉(zhuǎn)需求達到6個SMIF Pod，無法滿足工藝需求，OW8晶圓盒搬運機器人擁有目前業(yè)界最多的儲位，設(shè)有8儲位以及料位智能化管理，滿足所有工藝晶圓流轉(zhuǎn)需求。

2、可取放300-2300mm，目前業(yè)界最高晶圓盒上下料作業(yè)高度和最低作業(yè)高度優(yōu)勢，提高FAB的空間利用率。

3、人工維修高架地板會產(chǎn)生坑洞，晶圓盒搬運機器人自帶檢測坑洼的傳感器，防止跌入。

4、打通不同工藝流程之間物質(zhì)流和信息流，生產(chǎn)物流數(shù)據(jù)全流程可追溯，實現(xiàn)車間生產(chǎn)可視化和生產(chǎn)過程運營管控。

（3）效益或影響

半導(dǎo)體生產(chǎn)車間潔凈等級高、布局復(fù)雜、空間狹小、設(shè)備種類繁多，優(yōu)艾智合通過移動機器人多機協(xié)同打通離散生產(chǎn)環(huán)節(jié)，高效助力企業(yè)柔性生產(chǎn)。同時，利用移動操作機器人實現(xiàn)工藝設(shè)備間的自動傳送、存儲及分發(fā)，打通制程中的復(fù)雜工序，有效提升設(shè)備稼動率、降低人工錯誤發(fā)生率。做到0輻射，避免人工搬運方式存在的人體輻射傷害風(fēng)險；0污染，減小無塵車間污染帶來的風(fēng)險，提升良品率；震動小，避免人工搬運帶來的損壞問題，降低50%震動風(fēng)險；提效，減少操作員30%無效行走；提升空間利用率，提高電子料架利用率66%。

案例三：達明復(fù)合移動機器人晶圓盒上下料項目

（1）項目描述

某著名半導(dǎo)體工廠應(yīng)用了達明復(fù)合移動機器人-TM12M進行晶圓盒上下料，基于激光SLAM的混合定位導(dǎo)航技術(shù)，實現(xiàn)室內(nèi) ±5mm的重復(fù)定位精度，有效對接各種設(shè)備；導(dǎo)入TM landmark 專利應(yīng)用，復(fù)合機器到位后，達明機器人通過自帶視覺完成晶圓盒的高精度上下料。

圖：達明復(fù)合移動機器人應(yīng)用于晶圓盒上下料

（2）難點及創(chuàng)新點

1、導(dǎo)入達明自帶視覺協(xié)作機器手臂-TM12M及TM landmark 后，復(fù)合移動機器人也可輕松應(yīng)用在高精精度作業(yè)站別, 并且也可以十分輕松地完成調(diào)試及復(fù)制；

2、空間定位精度±0.5mm ( AGV 定位精度±5mm ; 通過TMvision + TM Landmark,將空間定位精度做到±0.5mm以內(nèi))

3、達明機器人通過Eye in Hand / New base (Golden Port) 快速教點，輕松地完成調(diào)試及復(fù)制；

4、更簡易的部署：自動構(gòu)建地圖，無需場景改造。具備多種應(yīng)用模塊與通用標(biāo)準(zhǔn)接口，直接對接企業(yè) MES / WMS 信息系統(tǒng)，無需定制開發(fā)；

5、更智能的控制：最新一代移動機器人分布式控制系統(tǒng)，機器人單機作業(yè)與多機調(diào)度切換自如；

6、更平穩(wěn)的移動：采用6輪懸掛系統(tǒng)，過縫過坎平穩(wěn)順滑，減輕振動；自動均衡負(fù)載，移動更加平穩(wěn)。

7、更安全的防護: 搭載兩顆安全激光雷達，覆蓋機器人360°無死角；

8、更強大的調(diào)度: 智能劃分作業(yè)場景，不同場景下自動切換工作模式，動態(tài)任務(wù)分配、智能交通管制、同場景多機調(diào)度，支持100臺機器人的實時監(jiān)控與調(diào)度；

9、更持久的工作: 每一臺機器人都支持自動充電、手動充電與快速換電，最快30s即可讓機器人重新回到工作站點，保證24小時連續(xù)運行與快速響應(yīng)；

（3）效益或影響

為客人打造專屬的智能設(shè)備, 創(chuàng)造共生互利的競爭優(yōu)勢，制造效能的提升或是制造良率的提升，對整個的制造業(yè)有一個很正面的一個效益，并且得到客戶的肯定，為客人帶來智慧物流專案，幫助合作伙伴節(jié)省人力，并共同邁進關(guān)燈智能工廠。

案例四：迦智科技國內(nèi)知名半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)企業(yè)內(nèi)部智能物流搬運項目

（1）項目描述

項目用戶是國內(nèi)知名的半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)企業(yè)，面對市場柔性化的生產(chǎn)需求，亟需提升廠內(nèi)物料搬運的靈活性和穩(wěn)定性。

迦智科技為其提供了涵蓋數(shù)臺復(fù)合移動作業(yè)機器人、EMMA400舉升車、EMMA400升降輥筒車以及自動充電樁、服務(wù)器、調(diào)度系統(tǒng) CLOUDIA等在內(nèi)的整套智能物流解決方案，高效解決了生產(chǎn)原料、半成品等在晶圓生產(chǎn)線各工序設(shè)備間的自動化流轉(zhuǎn)和上下料，大幅提升了生產(chǎn)效率。

圖：迦智科技復(fù)合移動機器人

（2）難點及創(chuàng)新點

1、無塵潔凈室空間高效作業(yè)：迦智科技的自然導(dǎo)航AMR滿足百級無塵車間的作業(yè)環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)，無需提前改造，即可快速部署應(yīng)用于現(xiàn)有產(chǎn)線中，并可隨時滿足用戶產(chǎn)線優(yōu)化調(diào)整需要，減少二次投入成本；

2、全程無人參與，安全穩(wěn)定運輸：針對半導(dǎo)體行業(yè)物料易碎易損的特性，迦智全柔性自然導(dǎo)航AMR底盤+協(xié)作機械臂的智能集成，采用自研的激光SLAM融合導(dǎo)航技術(shù)，路徑規(guī)劃靈活，環(huán)境適應(yīng)力強，支持多機協(xié)作、人機協(xié)作，智能停避障，保障了物料配送的及時安全性，所有物流信息通過可視化的實時管理一目了然；

3、實現(xiàn)對半導(dǎo)體精密元件的精準(zhǔn)抓取、放置，滿足產(chǎn)品良率要求：通過視覺輔助技術(shù)和機械臂伺服運動規(guī)劃，成功達到了用戶需求的1mm 級高精度對接要求，確保物料轉(zhuǎn)運安全穩(wěn)定，非常適用于3C、泛半導(dǎo)體領(lǐng)域等高精密度作業(yè)需要。

（3）效益或影響

項目成功實施后，充分滿足了用戶的排產(chǎn)需求，助力產(chǎn)線提高生產(chǎn)效率，有效降低人力成本，增強企業(yè)柔性生產(chǎn)能力。

案例五：優(yōu)艾智合彈夾轉(zhuǎn)運機器人OM-T12

（1）項目描述

針對某被動元器件國內(nèi)龍頭企業(yè)，優(yōu)艾智合助力該企業(yè)實現(xiàn)黃光一體化車間自動化升級改造，實現(xiàn)黃光車間印刷、曝光、顯影三大工序機臺的自動化上下料以及工序機臺間的物料轉(zhuǎn)運，解決現(xiàn)有員工上料不及時、上錯料、信息跟蹤困難的問題。

物料轉(zhuǎn)運系統(tǒng)由YOUITMS物流管理系統(tǒng)、YOUIFLEET調(diào)度系統(tǒng)和移動操作機器人組成；YOUITMS物流管理系統(tǒng)對接客戶MES系統(tǒng)，獲取生產(chǎn)訂單進行排程調(diào)度，并將合并后的訂單下發(fā)給YOUIFLEET調(diào)度系統(tǒng)，YOUIFLEET調(diào)度移動操作機器人，移動機器人本體設(shè)有多個料藍(lán)（生產(chǎn)物料載體）緩存位，完成物料的轉(zhuǎn)運及自動上下料。

圖：優(yōu)艾智合彈夾轉(zhuǎn)運機器人OM-T12在半導(dǎo)體分立器件車間應(yīng)用

（2）難點及創(chuàng)新點

技術(shù)難點：

1、客戶車間均為緊湊型車間，復(fù)合協(xié)作機器人需在1100mm的過道中上下料。

2、客戶的機臺上下料位置很低且空間狹小，通過末端執(zhí)行機構(gòu)的特殊結(jié)構(gòu)設(shè)計解決了此問題。

3、機臺對于上下料的精度有嚴(yán)格要求。

創(chuàng)新點：

1、移動操作機器人對物料上的識別碼進行確認(rèn)與記錄，業(yè)務(wù)系統(tǒng)可通過看板跟蹤物料流轉(zhuǎn)信息；

2、移動操作機器人可輕松通過半導(dǎo)體車間內(nèi)的窄小過道，再通過YOUIFLEET調(diào)度系統(tǒng)使移動操作機器人不會在過道形成擁堵，多臺機器人根據(jù)不同業(yè)務(wù)需求協(xié)同配合；

3、移動操作機器人高精度定位與機械臂上的視覺補償支持自動化上下料對接，YOUITMS對接客戶的MES系統(tǒng)，接受任務(wù)訂單，傳遞物料運轉(zhuǎn)信息；

4、數(shù)據(jù)分析，實時反饋生產(chǎn)物流數(shù)據(jù)；

5、在智能移動機器人系統(tǒng)實踐過程中,巧妙利用工業(yè)相機、傳感器和智能化決策系統(tǒng)等多種關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢,使得機器人具有更多智能范圍的能力。這一創(chuàng)新應(yīng)用幫助更多制造企業(yè)實現(xiàn)“智造”升級；

（3）效益或影響

大大降低工人的工作強度，減少操作人員30%無效行走;打通各個環(huán)節(jié)的物料交接信息流,省去了大量人工交接時的紙質(zhì)單據(jù)；減少人工作業(yè)，實現(xiàn)自動化上下料，提高生產(chǎn)效率33%，提升產(chǎn)品良率78%;實時反饋生產(chǎn)數(shù)據(jù)，提高信息透明度，降低機臺出錯率。節(jié)約白班+夜班勞動力節(jié)工20人；投資回報率：回本周期1.6年。